格科半导体申请一种显影方法专利，提高晶圆上各处显影液浓度的均一性
创始人
2025-05-24 17:35:44
0次
金融界2025年5月24日消息，国家知识产权局信息显示，格科半导体（上海）有限公司申请一项名为“一种显影方法”的专利，公开号CN120029013A，申请日期为2023年11月。
专利摘要显示，本发明提供一种显影方法，包括：将经过曝光后的晶圆安装在机台上；调整预润湿喷嘴至起始位置，起始位置与晶圆中心之间存在偏移；使晶圆处于旋转状态；预润湿喷嘴自起始位置向晶圆中心移动的同时向晶圆表面喷涂预润湿液体；通过显影液喷嘴向晶圆表面喷涂显影液，使显影液覆盖晶圆表面。本发明的显影方法，通过调整预润湿喷嘴至起始位置，且起始位置与晶圆中心之间存在偏移，使得预润湿液体在喷涂时能够更好与显影液进行混合，提高晶圆上各处显影液浓度的均一性，降低晶圆因显影液浓度过低导致显影后出现缺陷的风险。
天眼查资料显示，格科半导体（上海）有限公司，成立于2020年，位于上海市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本450000万人民币。通过天眼查大数据分析，格科半导体（上海）有限公司参与招投标项目21次，专利信息81条，此外企业还拥有行政许可86个。
来源：金融界
上一篇：英唐电气申请用于开关柜的高灵敏性漏电绝缘检测专利，提高了漏电检测的灵敏度
下一篇：青岛理工大学等申请基于电荷注入微3D打印曲面共形嵌入电路制造方法及系统专利，实现非可展曲面大深宽比嵌入电路高效低成本制造
相关内容
热门资讯
瑞景信息申请电子设备拍照测试相...
金融界2025年5月24日消息，国家知识产权局信息显示，重庆瑞景信息科技有限公司申请一项名为“电子设...
原创 美...
近期，据环球网报道，美国总统特朗普与俄罗斯总统普京、乌克兰总统泽连斯基分别通电话，就俄乌停火谈判等问...
韩媒：李在明含泪祭拜卢武铉，誓...
本文转自【环球时报新媒体】； 据韩联社报道，5月23日，在韩国庆尚南道金海市峰下村，总统候选人李在明...
镓仁半导体申请氧化镓外延生长方...
金融界2025年5月24日消息，国家知识产权局信息显示，杭州镓仁半导体有限公司申请一项名为“一种氧化...
上海积塔半导体申请半导体结构及...
金融界2025年5月24日消息，国家知识产权局信息显示，上海积塔半导体有限公司申请一项名为“半导体结...
每周股票复盘：国科微（3006...
截至2025年5月21日收盘，国科微（300672）报收于81.06元，较上周的69.6元上涨16....
东莞新科申请 PCB 板上的通...
金融界 2025 年 5 月 2 日消息，国家知识产权局信息显示，东莞新科技术研究开发有限公司申请一...
2025年PCB加工厂家推荐
在电子行业中，PCB加工涉及多个关键因素，如设计精度、材料选择、加工工艺、设备技术等，这些因素共同决...
江西宏章电子申请PCB电路板投...
金融界2025年5月24日消息，国家知识产权局信息显示，江西宏章电子有限公司申请一项名为“一种PCB...
上海唯一嵌入体育场的酒店启幕，...
25间行政房凭借无遮挡视野成为观赛“黄金席位”。