青岛思锐智能申请半导体晶圆离子注入方法和装置专利，提高分区注入的效率
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2026-02-11 13:13:57
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国家知识产权局信息显示，青岛思锐智能科技股份有限公司申请一项名为“一种半导体晶圆的离子注入的方法和装置”的专利，公开号CN121487507A，申请日期为2025年11月。
专利摘要显示，本发明提供一种半导体晶圆的离子注入的方法和装置，属于半导体制造技术领域。该方法包括：在第一注入阶段，控制所述离子源向第一晶圆区域注入所述第一注入阶段对应的第一剂量增量的离子；在所述第一注入阶段之后的任一注入阶段，控制所述靶盘将所述半导体晶圆朝设定旋转方向旋转至设定角度，控制所述离子源向当前晶圆区域注入当前阶段对应的目标剂量增量的离子。采用本发明，可以提高分区注入的效率。
天眼查资料显示，青岛思锐智能科技股份有限公司，成立于2018年，位于青岛市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本135298.7908万人民币。通过天眼查大数据分析，青岛思锐智能科技股份有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目75次，财产线索方面有商标信息24条，专利信息179条，此外企业还拥有行政许可25个。
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来源：市场资讯
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