近期，国内多家半导体设备企业在产能扩张、技术研发方面披露了新的进展。

拓荆科技高端半导体设备产业化基地建设项目已开工

6月3日，拓荆科技董事长吕光泉在业绩说明会上介绍扩产计划时表示，公司高端半导体设备产业化基地建设项目目前已经开工建设，按计划稳步推进建设工作，此外，公司控股子公司拓荆键科半导体设备有限公司正在规划新的研发与产业化基地。

据悉，拓荆科技“高端半导体设备产业化基地建设项目”位于沈阳市浑南区。2024年3月初，拓荆科技发布公告称，为加快产能规划及产业布局，拟在沈阳市浑南区购置土地建设新的产业化基地。

该项目计划总投资金额约为人民币11亿元（最终项目投资总额以实际投入为准），由拓荆科技及其全资子公司拓荆创益（沈阳）半导体设备有限公司（以下简称“拓荆创益”）共同实施。其中拓荆科技投资金额约为人民币3.8亿元，拓荆创益投资金额约为人民币7.2亿元，项目建设周期预计为4年。

资料显示，拓荆科技专注于高端半导体专用设备的技术研发，目前已形成PECVD、ALD、SACVD、HDPCVD等薄膜设备产品系列，广泛应用于国内集成电路逻辑芯片、存储芯片等制造产线。

拓荆科技表示，该产业化基地建成后，将进一步提高公司的产能，以支撑公司PECVD、SACVD、HDPCVD等高端半导体设备产品未来的产业化需求，从而推动公司业务规模的持续增长，提升公司整体竞争力和盈利能力。

亚曼光电半导体设备研发生产基地项目落户湖南长沙

5月30日，亚曼光电半导体设备研发生产基地项目签约落户湖南长沙望城经开区。

据“望城经开区”介绍，此次签约的项目总投资2亿元，建设半导体设备研发生产基地，项目全面投产后可实现年产值5亿元以上。资料显示，上海亚曼光电科技有限公司成立于2016年，是专注于光刻机、离子注入机等半导体关键设备核心技术研发和应用的专精特新企业。

上海亚曼光电科技有限公司董事长谢丁生表示，企业将把项目打造成为长沙乃至中南地区的半导体设备研发及再制造中心、集成电路关键设备展示与市场推广中心、半导体工艺及设备人才培训中心。

珠海造高端刻蚀设备成功面世

据“珠海发布”消息，5月23日，珠海恒格微电子装备有限公司（以下简称“恒格微电子”）举行全国首台晶圆级“等离子多驱解离刻蚀设备”发布会。该设备的成功面世，标志着我国在高端半导体制造核心装备领域实现重大技术突破，为芯片制造国产化替代注入强劲动能。

据介绍，该设备突破了多项“卡脖子”技术难题，具备高效率、高均匀性、高兼容性的特点，可广泛应用于集成电路、第三代半导体及先进封装领域，适配8英寸至12英寸晶圆制造需求。

资料显示，恒格微电子成立于2005年，是一家专注等离子体工业应用设备相关领域核心零配件及核心材料研发、生产及销售的高新技术集团企业，产品线覆盖等离子清洗设备，微波等离子刻蚀设备、等离子深沟槽刻蚀(TSV/TGV/TCV)设备，等离子去胶设备、解决“卡脖子”工艺的全氟密封圈材料、半导体产线整体解决方案等。

近年来，恒格微电子瞄准半导体装备赛道，聚焦刻蚀设备核心技术研发，逐步构建起覆盖研发、制造、服务的全产业链能力。值得一提的是，今年3月，恒格微电子还成功向半导体先进封装测试领域的标杆企业出货一台12英寸晶圆级微波等离子去胶、表面处理设备。

总结

中国作为全球最大的消费电子市场，对半导体芯片的需求量巨大，同时也为半导体设备带来了广阔的市场空间，尤其是在终端市场强劲需求和新兴产业快速发展的拉动下，对半导体设备的需求呈现持续增长的态势。有数据显示，2024年中国大陆半导体设备销售额达到496亿美元，同比增长35%，连续第五年成为全球最大半导体设备市场。

此外，近年来，在复杂多变的国际形势及我国持续加大半导体产业政策扶持的背景下，中国半导体产业发展迅速，在半导体技术迭代创新、产业生态等方面均形成良好局面，产业链逐步完善，并加快先进技术领域的布局，为国内高端半导体设备厂商创造了巨大的发展机遇和市场空间。