大族半导体申请干涉曝光机构及加工设备专利，可实时抵消环境振动造成的影响
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2025-08-22 09:39:49
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金融界2025年8月22日消息，国家知识产权局信息显示，深圳市大族半导体装备科技有限公司申请一项名为“干涉曝光机构及加工设备”的专利，公开号CN120522987A，申请日期为2025年06月。
专利摘要显示，本申请涉及干涉曝光机构及加工设备，其中干涉曝光机构包括：用于输出光束的光源；设置于光源一侧的扩束准直组件、设置于扩束准直组件一侧的偏振组件、设置于偏振组件一侧的反射镜单元；温控组件，位于偏振组件的一侧；样品加工台，位于反射镜单元的一侧；隔振安装台，扩束准直组件、偏振组件和样品加工台紧固于隔振安装台。上述干涉曝光机构可实时抵消环境振动造成的影响，进而改善不利环境因素对光学系统的影响，以便提高干涉曝光的分辨率，从而提升干涉曝光图案对比度，有效提升光学加工设备的工作效率。
天眼查资料显示，深圳市大族半导体装备科技有限公司，成立于2018年，位于深圳市，是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本12000万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳市大族半导体装备科技有限公司共对外投资了8家企业，参与招投标项目214次，专利信息827条，此外企业还拥有行政许可18个。
来源：金融界
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