盛吉盛半导体申请半导体沉积设备的气体电导调节装置专利，调节气体电导
创始人
2025-05-21 11:35:19
0次
金融界2025年5月21日消息，国家知识产权局信息显示，盛吉盛（韩国）半导体科技有限公司申请一项名为“半导体沉积设备的气体电导调节装置”的专利，公开号CN120006254A，申请日期为2024年03月。
专利摘要显示，本发明涉及半导体沉积设备的气体电导调节装置，其包括：腔体，形成有腔室；气体排出空间，形成于上述腔室的内侧底面，与形成于上述腔体的排出孔相连通；固定挡板，放置于上述腔室的上述底面，覆盖上述气体排出空间，形成有多个挡板孔；可动挡板，以能够转动的方式设置于上述固定挡板的上部面，形成有多个挡板孔；以及挡板驱动装置，插入设置于形成在上述腔体的设置孔，旋转驱动上述可动挡板，调节上述固定挡板的上述挡板孔和上述可动挡板的上述挡板孔的重叠量。如上所述，可调节上述固定挡板的上述挡板孔和上述可动挡板的上述挡板孔的重叠量，调节气体电导，调节上述腔室内反应气体的残留时间。
来源：金融界
相关内容
热门资讯
好消息！2025年初中级经济师...
2025年经济师电子证书已陆续开放下载！目前北京、四川、内蒙古、上海、辽宁、黑龙江、广东、江苏、新疆...
深圳电容触摸屏哪家厚度可选？
在智能设备高速发展的今天，触摸屏作为人机交互的核心部件，其性能与适配性直接影响用户体验。尤其在车载导...
亚世光电：截至2025年12月...
证券之星消息，亚世光电(002952)12月15日在投资者关系平台上答复投资者关心的问题。 投资者提...
2025金熊猫全球创新创业大赛...
近日，2025金熊猫全球创新创业大赛投融资对接活动电子信息专场在成都高新区菁蓉汇举办。本次活动聚焦于...
新联电子：截至2025年12月...
有投资者在互动平台向新联电子提问：“请问截止2025年12月10日公司股东人数多少？” 针对上述提问...
分红早知道|最近72小时内，炬...
红利低波（H30269.CSI）指数，选取50只流动性好、连续分红、红利支付率适中、每股股息正增长以...
【盘中播报】沪指跌0.22% ...
证券时报•数据宝统计，截至下午13:57，今日沪指跌0.22%，A股成交量916.73亿股，成交金额...
科创板芯片企业并购接连终止！芯...
本报（chinatimes.net.cn）记者胡金华 上海报道 从帝奥微到海光信息，再到芯原股份，短...
原创 谷...
谷歌与英国量子计算国家实验室展开合作，邀请研究人员为其最强大的处理器"柳木（Willow）"芯片开发...