半导体废气怎么处理｜半导体废气如何处理
创始人
2025-12-30 07:07:57
0次
案例：某化合物半导体厂特殊气体处理项目
项目背景
该项目为某中外合资的GaAs（砷化镓）半导体制造厂，主要生产射频器件和光电器件。由于使用砷、磷等有毒物质，废气处理系统面临特殊挑战。
废气成分及来源
主要废气包括：
MOCVD工序：AsH₃（砷化氢）、PH₃（磷化氢）、NH₃等
离子注入工序：BF₃、PF₅等氟化物气体
其他工序：少量的H₂Se、SiH₂Cl₂等
废气特点是毒性大、浓度低但危害严重，总风量约15,000m³/h。
处理工艺流程
针对剧毒气体的特殊性，采用了"预氧化+湿式洗涤+深度处理"的工艺路线：
预氧化系统
：
设置臭氧注入装置，将AsH₃、PH₃等预氧化
反应停留时间>3秒
一级洗涤塔
：
酸性洗涤塔，使用5%次氯酸钠溶液
氧化还原电位(ORP)控制在800-1000mV
去除As、P等元素的主要部分
二级洗涤塔
：
碱洗塔，使用10%NaOH溶液
去除酸性气体和剩余的有害物质
深度处理系统
：
配置专用催化剂反应器，确保As、P等完全转化
催化剂寿命2年，定期更换
废水处理系统
：
洗涤废水单独收集处理
采用化学沉淀法去除As、P等重金属
出水达到《污水综合排放标准》一级标准
最终效果
经过6个月的调试和优化，系统达到以下效果：
AsH₃排放浓度<0.002mg/m³
PH₃排放浓度<0.005mg/m³
NH₃排放浓度<5mg/m³
总砷去除率>99.99%
系统运行稳定，无二次污染产生
废水中的砷含量<0.1mg/L，远严于排放标准
相关内容
热门资讯
北京弘图半导体申请通道不平衡校...
国家知识产权局信息显示，北京弘图半导体有限公司申请一项名为“通道不平衡校正方法、图像传感器、成像模组...
晶合集成申请半导体缺陷智能分析...
国家知识产权局信息显示，合肥晶合集成电路股份有限公司申请一项名为“半导体缺陷智能分析方法及装置”的专...
武汉锦秀地坪申请高透光性幻彩磨...
国家知识产权局信息显示，武汉锦秀地坪建筑工程有限公司申请一项名为“一种高透光性幻彩磨石及其制备工艺”...
思达仪表申请存储器电源控制方法...
国家知识产权局信息显示，深圳市思达仪表有限公司申请一项名为“存储器电源控制方法、电路及电能计量设备”...
安徽煜图科技申请胆甾相液晶显示...
国家知识产权局信息显示，安徽煜图科技有限公司申请一项名为“一种胆甾相液晶显示电路及其驱动方法及电子纸...
慧忆微电子申请存储设备读取方法...
国家知识产权局信息显示，慧忆微电子（上海）有限公司申请一项名为“存储设备的读取方法、电子设备以及存储...
光迅科技获得发明专利授权：“一...
证券之星消息，根据天眼查APP数据显示光迅科技（002281）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种...
华芯晶电申请基于数据驱动的半导...
国家知识产权局信息显示，青岛华芯晶电科技有限公司申请一项名为“基于数据驱动的半导体衬底表面研磨方法”...
沐曦股份获得发明专利授权：“一...
证券之星消息，根据天眼查APP数据显示沐曦股份（688802）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种...
每周股票复盘：恒尚节能（603...
截至2026年6月15日收盘，恒尚节能（603137）报收于12.94元，较上周的11.76元上涨1...