求是半导体等申请晶圆电阻率检测专利，对晶圆电阻率的检测效率更高_电子百科

求是半导体等申请晶圆电阻率检测专利，对晶圆电阻率的检测效率更高

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2025-07-10 10:38:23

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金融界2025年7月10日消息，国家知识产权局信息显示，浙江求是半导体设备有限公司、浙江晶盛机电股份有限公司申请一项名为“晶圆电阻率的检测方法、装置及电子设备和存储介质”的专利，公开号CN120280366A，申请日期为2025年06月。

专利摘要显示，本申请公开了一种晶圆电阻率的检测方法、装置及电子设备和存储介质，该检测方法包括：将待测样片固定在检测平台上，使待测样片能够在检测平台的带动下沿预设方向往复运动；当待测样片移动至采样单元的下方时，控制待测样片沿第一预设方向移动，使采样单元间隔地对待测样片上的采样点进行采样；控制待测样片围绕其轴线转动设定角度，控制待测样片沿第二预设方向相对采样单元移动，使采样单元间隔地对待测样片上的采样点进行采样，第二预设方向与第一预设方向相反；基于采样点的检测电压与空载电压的差值确定采样点的参考电压；将参考电压代入基于预先建立的电阻率计算公式，得到电阻率。

天眼查资料显示，浙江求是半导体设备有限公司，成立于2018年，位于杭州市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本10000万人民币。通过天眼查大数据分析，浙江求是半导体设备有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目22次，专利信息282条，此外企业还拥有行政许可10个。

浙江晶盛机电股份有限公司，成立于2006年，位于绍兴市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本130953.3797万人民币。通过天眼查大数据分析，浙江晶盛机电股份有限公司共对外投资了34家企业，参与招投标项目195次，财产线索方面有商标信息64条，专利信息1043条，此外企业还拥有行政许可36个。

来源：金融界

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