新凯来申请一种滤波网络、滤波器和高压电源专利，抑制HV+和HV‑之间压差波动
创始人
2025-07-14 13:10:08
0次
金融界2025年7月14日消息，国家知识产权局信息显示，深圳市新凯来工业机器有限公司申请一项名为“一种滤波网络、滤波器和高压电源”的专利，公开号CN120301383A，申请日期为2025年04月。
专利摘要显示，本申请公开一种滤波网络、滤波器和高压电源，涉及半导体制造技术领域，用于提供滤波功能。针对现有滤波器因无法避免的元件离散误差而影响静电引力稳定性的问题，提供了一种滤波网络，通过将原本独立设置的三组滤波电路通过特定的连接关系进行耦合。实现了HV+和HV‑之间的共地耦合且参考地由CT‑Bias提供，进而达到了抑制HV+和HV‑之间压差波动的效果。在能够优化ESC系统信号的前提下也未对各滤波电路中电气元件的参数选取或响应的补偿控制提出其他更高要求，实施简单且优化效果更好，可以更有效地保证卡盘处产生静电力的稳定性，有利于半导体制造时等离子体工艺稳定性和重复性的提高。
天眼查资料显示，深圳市新凯来工业机器有限公司，成立于2022年，位于深圳市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本106584.4444万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳市新凯来工业机器有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目8次，财产线索方面有商标信息20条，专利信息114条，此外企业还拥有行政许可11个。
来源：金融界
相关内容
热门资讯
于朦胧原定明日在央视播出的节目...
（来源：上游新闻） 9月11日，演员于朦胧的名字突然冲上热搜。网络传言称，于朦胧今天在北京坠楼。据央...
创、科两指联袂涨超5%！A股史...
财联社9月11日讯（编辑 梓隆），今日（9月11日），市场呈现普涨格局，各大指数也拉升明显。其中，创...
“2分钟接好断骨”，假“洋膏药...
市野医生“装洋货”，又是熟悉的老套路。 ▲左侧为散装膏贴样品，右侧为包装成品膏贴。图/红星新闻 文...
官方通报！湖北襄阳一硫酸生产线...
珠江网2025-09-11 11:47:02 9月8日，龙佰集团（002601.SZ）发布“关于襄阳...
日籍八路军后代小林阳吉：“一个...
国际在线报道（记者 何欣蕾 林博翰 总台报道员 杨红霞）：9月3日，多位为抗战胜利作出贡献的国际友人...
亚马尔：我的梦想不是拥有一座金...
北京时间9月12日，亚马尔在节目中受访时谈到了金球奖相关话题，这位年轻的巴萨王牌表示，自己的梦想不是...
济南今冬采暖季供暖有新消息，济...
近日，济南能源集团所属热力集团陆续对辖区内具备条件的供热一次网、二次网和换热站进行注水打压工作。 ...
涉嫌严重违法，贾龙斌接受监察调...
政知见2025-09-11 23:57:32 编辑 | 高语阳 据山西省纪委监委9月11日消息：山...
股市必读：世运电路（60392...
截至2025年9月11日收盘，世运电路(603920)报收于42.55元，上涨4.57%，换手率6....
股市必读：中航光电(00217...
截至2025年9月11日收盘，中航光电(002179)报收于39.55元，上涨1.62%，换手率0....