新凯来申请一种滤波网络、滤波器和高压电源专利，抑制HV+和HV‑之间压差波动
创始人
2025-07-14 13:10:08
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金融界2025年7月14日消息，国家知识产权局信息显示，深圳市新凯来工业机器有限公司申请一项名为“一种滤波网络、滤波器和高压电源”的专利，公开号CN120301383A，申请日期为2025年04月。
专利摘要显示，本申请公开一种滤波网络、滤波器和高压电源，涉及半导体制造技术领域，用于提供滤波功能。针对现有滤波器因无法避免的元件离散误差而影响静电引力稳定性的问题，提供了一种滤波网络，通过将原本独立设置的三组滤波电路通过特定的连接关系进行耦合。实现了HV+和HV‑之间的共地耦合且参考地由CT‑Bias提供，进而达到了抑制HV+和HV‑之间压差波动的效果。在能够优化ESC系统信号的前提下也未对各滤波电路中电气元件的参数选取或响应的补偿控制提出其他更高要求，实施简单且优化效果更好，可以更有效地保证卡盘处产生静电力的稳定性，有利于半导体制造时等离子体工艺稳定性和重复性的提高。
天眼查资料显示，深圳市新凯来工业机器有限公司，成立于2022年，位于深圳市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本106584.4444万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳市新凯来工业机器有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目8次，财产线索方面有商标信息20条，专利信息114条，此外企业还拥有行政许可11个。
来源：金融界
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