上海衍梓智能科技取得半导体承载体旋转异常检测装置专利，利用磁力感应侦测半导体承载体旋转情况
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2025-07-21 12:38:45
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金融界2025年7月21日消息，国家知识产权局信息显示，上海衍梓智能科技有限公司取得一项名为“一种半导体承载体旋转异常检测装置”的专利，授权公告号CN223122488U，申请日期为2024年09月。
专利摘要显示，本实用新型公开了一种半导体承载体旋转异常检测装置。上述检测装置和半导体加工设备配合设置。半导体加工设备包括反应腔体、石英盘、半导体承载体、以及用于驱动半导体承载体的旋转机构。检测装置包括位于反应腔体内的磁力感应件、以及位于磁力感应件的上方且靠近磁力感应件设置的磁铁。磁力感应件固定安装在石英盘上，且磁力感应件为磁力开关、磁簧开关或霍尔接近开关，磁铁固定安装在半导体承载体上。旋转机构包括电机、承载体轴以及磁流体传动件，承载体轴和石英盘垂直活动贯穿设置，磁力感应件位于承载体轴的相对应一侧位置处。本实用新型利用磁力感应来侦测半导体承载体的旋转圈数和旋转速度，及时判别异常旋转的情况，易于实施。
天眼查资料显示，上海衍梓智能科技有限公司，成立于2020年，位于上海市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本292.6829万人民币。通过天眼查大数据分析，上海衍梓智能科技有限公司共对外投资了4家企业，财产线索方面有商标信息20条，专利信息41条，此外企业还拥有行政许可2个。
来源：金融界
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