北方华创微电子申请半导体工艺设备专利，防止炉门结构变形
创始人
2025-12-03 13:36:13
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国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“半导体工艺设备”的专利，公开号CN121048393A，申请日期为2024年5月。
专利摘要显示，本发明提供一种半导体工艺设备，包括：炉体结构、炉门结构及压力调节组件，压力调节组件设置在炉体结构外，压力调节组件包括容器和可动部件，可动部件至少部分位于容器中，且将容器隔离形成第一调节室和第二调节室，第一调节室通过气路与炉体结构的内部连通；第二调节室与外部空间连通；可动部件能够在第一调节室和第二调节室的压力不平衡时相对于容器移动，直至第一调节室和第二调节室的压力达到平衡。本发明可以防止炉门结构因其两侧存在压力差而发生变形，从而可以延长炉门结构对开口密封的有效期，提高密封的可靠性。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1275次，财产线索方面有商标信息67条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。
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来源：市场资讯
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