帝京半导体科技申请半导体加工蚀刻设备双门传输阀专利，能够大幅降低颗粒残留_电子百科

帝京半导体科技申请半导体加工蚀刻设备双门传输阀专利，能够大幅降低颗粒残留

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2025-12-29 17:09:10

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国家知识产权局信息显示，帝京半导体科技（苏州）有限公司申请一项名为“一种半导体加工蚀刻设备的双门传输阀”的专利，公开号CN121206241A，申请日期为2025年11月。

专利摘要显示，一种半导体加工蚀刻设备的双门传输阀，属于半导体传输阀技术领域，为了解决密封件与接触面摩擦产生的微小粉尘，长时间使用容易导致粉尘颗粒积累在密封的接触面上，会加速磨损，同时粉尘颗粒会飘入到阀体内腔或传输通道中，污染半导体件表面，会影响产品良率的问题，发明包括主体阀和安装在主体阀下方中部的驱动座，本发明可以利用定向吹气以及定向吸气的双重措施，能够大幅降低颗粒残留，从颗粒产生的源头减少污染，保证除尘的效果，提升半导体产品良率，同时能够让惰性气体的氮气在贴合槽的内表面进行清扫，从而保证贴合槽内的整洁与光滑，确保半导体传输过程始终处于高真空、高洁净的环境中，保障传输稳定性与一致性。

天眼查资料显示，帝京半导体科技（苏州）有限公司，成立于2017年，位于苏州市，是一家以从事通用设备制造业为主的企业。企业注册资本2850.259114万人民币。通过天眼查大数据分析，帝京半导体科技（苏州）有限公司共对外投资了4家企业，参与招投标项目8次，财产线索方面有商标信息3条，专利信息49条，此外企业还拥有行政许可9个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

企业科技投资降低半导体设备传输颗粒专利加工双门主体阀传输阀

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