朗姆研究申请自清洁电感耦合等离子体源专利，实现等离子体源的交替清洁
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2026-01-01 13:08:53
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国家知识产权局信息显示，朗姆研究公司申请一项名为“自清洁电感耦合等离子体源”的专利，公开号CN121241418A，申请日期为2024年5月。
专利摘要显示，一种衬底处理系统包含处理室、等离子体源、第一线圈与第二线圈、以及电源。所述等离子体源被设置成通过气体分配设备将等离子体供应至所述处理室，所述气体分配设备被配置在所述处理室与所述等离子体源之间。所述第一线圈与所述第二线圈被交错地配置在所述等离子体源上，并且被设置成点燃供应至所述等离子体源的气体以产生所述等离子体。所述电源被设置成以交替方式将功率供应至所述第一线圈与所述第二线圈。
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来源：市场资讯
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