苏州迅微纳取得宽量程电容式薄膜真空计专利，扩展了测量范围
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2026-01-02 14:08:15
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国家知识产权局信息显示，苏州迅微纳半导体科技有限公司取得一项名为“一种宽量程电容式薄膜真空计”的专利，授权公告号CN223756214U，申请日期为2025年3月。
专利摘要显示，本实用新型为一种宽量程电容式薄膜真空计，其包括：外壳，设有收容腔和连通收容腔的进气口；弹性膜片，固定于收容腔内并形成活动电极，弹性膜片将收容腔分隔为真空腔和检测腔，检测腔与进气口连通设置；固定电极，设于真空腔内，固定电极包括第一固定电极和第二固定电极以及第三固定电极，第一固定电极和第二固定电极以及第三固定电极分别与弹性膜片间隔设置建立第一电容、第二电容和第三电容；第一电容、第二电容和第三电容之间保持间距；弹性膜片持续形变并接触第一固定电极时，输出相应的信号，从而切换到第二固定电极和第三固定电极组成差分电容对，从而扩展了测量范围，同时避免多种测量技术复合到一个真空计中，降低测量精度。
天眼查资料显示，苏州迅微纳半导体科技有限公司，成立于2024年，位于苏州市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本526.3158万人民币。通过天眼查大数据分析，苏州迅微纳半导体科技有限公司财产线索方面有商标信息1条，专利信息5条，此外企业还拥有行政许可1个。
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来源：市场资讯
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