大族半导体取得激光退火设备专利，快速降低箱体内氧气的含量
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2025-06-12 11:06:20
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金融界2025年6月12日消息，国家知识产权局信息显示，深圳市大族半导体装备科技有限公司取得一项名为“激光退火设备”的专利，授权公告号CN222966081U，申请日期为2024年07月。
专利摘要显示，本申请公开了一种激光退火设备，包括箱体、载台、激光装置、开关门组件和注气组件。箱体设有进料腔和加工腔，进料腔和加工腔连通，进料腔设有进料口；载台位于加工腔中，载台用于承载产品；激光装置用于发生激光，以对载台承载的产品进行退火；开关门组件包括第一门板和第一驱动件，第一驱动件用于驱使第一门板运动，以使第一门板打开或封闭进料口；注气组件包括第一注气件和第二注气件，第一注气件向进料腔注入第一气体，第一气体用于降低进料腔内氧气的含量；第二注气件用于向加工腔注入第二气体。
天眼查资料显示，深圳市大族半导体装备科技有限公司，成立于2018年，位于深圳市，是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本12000万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳市大族半导体装备科技有限公司共对外投资了8家企业，参与招投标项目203次，专利信息830条，此外企业还拥有行政许可17个。
来源：金融界
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