安徽微芯长江半导体申请晶锭切割嵌套保护装置及方法专利，实现高效高质量晶锭切割
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2025-07-05 17:09:34
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金融界2025年7月5日消息，国家知识产权局信息显示，安徽微芯长江半导体材料有限公司申请一项名为“一种晶锭切割过程中的嵌套保护装置及方法”的专利，公开号CN120245229A，申请日期为2025年05月。
专利摘要显示，本发明公开了一种晶锭切割过程中的嵌套保护装置及方法，包括内层弹性缓冲层、中间应力分散层和外层刚性支撑层，内层弹性缓冲层采用高分子聚合物材料，厚度为0.5毫米至2毫米，中间应力分散层由蜂窝状金属网格构成，单元尺寸为1毫米至3毫米，外层刚性支撑层选用高强度碳纤维复合材料，厚度为3毫米至5毫米。切割完成后，对晶锭进行无损检测，确保其内部和表面均无隐性缺陷。整个嵌套保护方法通过精确控制嵌套结构参数、应力分布优化算法以及热效应管理模型，实现了高效、高质量的晶锭切割结果，适用于第三代半导体产业对高质量碳化硅晶片的需求。该方法的核心设备包括嵌套保护装置、应力监测系统、热效应控制系统等模块，各模块协同工作以完成晶锭切割任务。
天眼查资料显示，安徽微芯长江半导体材料有限公司，成立于2020年，位于铜陵市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本89000万人民币。通过天眼查大数据分析，安徽微芯长江半导体材料有限公司参与招投标项目23次，财产线索方面有商标信息6条，专利信息141条，此外企业还拥有行政许可8个。
来源：金融界
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