东方晶源申请检测装置及电子探测方法专利,提高探测器对信号电子束的收集效率
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2025-07-11 13:38:16
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金融界2025年7月11日消息,国家知识产权局信息显示,东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司申请一项名为“检测装置及电子探测方法”的专利,公开号CN120294045A,申请日期为2025年04月。

专利摘要显示,本申请公开了一种检测装置及电子探测方法,涉及半导体集成电路技术领域。该检测装置包括:物镜,被配置为将电子源产生的检测电子束进行汇聚,并使汇聚后的检测电子束作用于测试样品上,以使测试样品在检测电子束的作用下产生返回信号电子束;样品台,被配置为放置测试样品;探测器,设置于物镜的远离样品台一侧,且设置于物镜的光轴上,探测器开设有通孔,探测器被配置为接收测试样品返回的信号电子束;偏转器组件,设置于物镜的镜筒内,被配置为使测试样品返回的信号电子束偏离探测器的通孔。

天眼查资料显示,东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司,成立于2014年,位于北京市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本36401.6097万人民币。通过天眼查大数据分析,东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司共对外投资了7家企业,参与招投标项目24次,财产线索方面有商标信息162条,专利信息303条,此外企业还拥有行政许可18个。

来源:金融界

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