东方晶源申请检测装置及电子探测方法专利，提高探测器对信号电子束的收集效率
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2025-07-11 13:38:16
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金融界2025年7月11日消息，国家知识产权局信息显示，东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司申请一项名为“检测装置及电子探测方法”的专利，公开号CN120294045A，申请日期为2025年04月。
专利摘要显示，本申请公开了一种检测装置及电子探测方法，涉及半导体集成电路技术领域。该检测装置包括：物镜，被配置为将电子源产生的检测电子束进行汇聚，并使汇聚后的检测电子束作用于测试样品上，以使测试样品在检测电子束的作用下产生返回信号电子束；样品台，被配置为放置测试样品；探测器，设置于物镜的远离样品台一侧，且设置于物镜的光轴上，探测器开设有通孔，探测器被配置为接收测试样品返回的信号电子束；偏转器组件，设置于物镜的镜筒内，被配置为使测试样品返回的信号电子束偏离探测器的通孔。
天眼查资料显示，东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司，成立于2014年，位于北京市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本36401.6097万人民币。通过天眼查大数据分析，东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目24次，财产线索方面有商标信息162条，专利信息303条，此外企业还拥有行政许可18个。
来源：金融界
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