9月4日，在第十三届半导体设备与核心部件及材料展（CSEAC 2025）半导体制造与设备及核心部件董事长论坛上，东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司（简称“东方晶源”）董事长俞宗强介绍了公司围绕电子束量检测设备进行的生态建设，并提出基于AI计算所引领的半导体量检测设备发展方法论。

俞宗强

◎记者 李兴彩

量检测设备就是半导体制造中的“眼睛”，AI是中国半导体量检测设备公司实现“换道超车”的重大契机，东方晶源已构建起全面且领先的电子束量检测设备产品矩阵……

9月4日，在第十三届半导体设备与核心部件及材料展（CSEAC 2025）半导体制造与设备及核心部件董事长论坛上，东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司（简称“东方晶源”）董事长俞宗强介绍了公司围绕电子束量检测设备进行的生态建设，并提出基于AI计算所引领的半导体量检测设备发展方法论。

谈AI：

中国量检测设备公司的机遇

“量检测设备就是半导体制造中的‘眼睛’，要发现芯片存在的问题，还要解决问题。”俞宗强说，在半导体产业的复杂生态中，量检测环节犹如精密仪器的校准器，对确保芯片制造的高精度与高良率起着不可替代的作用。

长期以来，全球半导体量检测设备市场呈现 “高度集中，寡头主导”的格局，市场基本上垄断在科磊（KLA）、应用材料、日立等国际大公司手中。

随着半导体技术进步，量检测设备不仅对产业愈加重要，研发难度也在不断提升。如此情况下，中国半导体量检测设备行业及公司如何实现突围？

在俞宗强看来，AI是中国半导体量检测设备公司实现“换道超车”的重大契机。

“国际主流供应商奉行‘多多益善’的营销战略，造成检测成本高昂且数据利用率极低，据估算实际用到的数据占收集到的数据比例不到1%。”俞宗强说，中国半导体量检测设备公司可借助AI技术，以“计算的方式”重新定义量检测价值。通过AI算法对海量历史数据及实时检测数据进行深度挖掘与分析，精准识别真正影响芯片性能的关键缺陷与参数偏差，从而实现“量得少却同样解决问题”的高效模式，则有望实现从追赶到“换道超车”。

俞宗强举例称，利用机器学习算法构建缺陷预测模型，在芯片制造前期便可预判潜在问题，提前调整工艺参数，避免缺陷产生，就可以大幅减少不必要的检测流程。

谈东方晶源：

锚定电子束量检测设备

“东方晶源是半导体制造良率解决方案提供商，公司围绕量检测数据应用的最大化，构建了全套的电子束量检测设备，累计出货量超过70台。”俞宗强介绍，得益于AI技术的应用，公司正在实现从点到线再到面的突破。

记者了解到，东方晶源历经近十二年的磨砺，已构建起全面且领先的电子束量检测设备产品矩阵，涵盖电子束缺陷检测设备（EBI）、关键尺寸量测设备（CD-SEM）、电子束缺陷复检设备（DR-SEM）、高能电子束设备（HV-SEM）等。

“AI是东方晶源成长与发展的基因之一。”俞宗强介绍，自2014年成立以来，东方晶源创造性地提出并实现了基于CPU+GPU混合算力架构的全芯片反向光刻（ILT）计算光刻解决方案，并成功推出具备完整计算光刻相关EDA工具链条的PanGen计算光刻平台。同时，公司基于具有自主知识产权的HPO（Holistic Process Optimization，一体化全流程工艺优化）理念，构建了覆盖计算光刻、电子束量测检测与良率管理软件的一体化良率解决方案体系。

俞宗强举例介绍，在电子束缺陷检测设备方面，公司新一代产品SEpA-i635在核心电子光学系统上采用超大电流预充电（微安级）和大电流成像（百纳安级）技术，束流实现量级跃升，能够敏锐捕捉先进存储晶圆复杂结构中的电性缺陷；通过高速DPU系统和AI赋能的YieldBook良率数据管理系统，在图像数据处理与缺陷识别上的全方位升级等，检测速度相较于前代产品提升3倍以上，极大提高了缺陷检测的效率与精度，实现更好的投入产出比。

俞宗强表示，真正用AI给客户解决问题，提升电子束设备的检测效率，致力于为客户提升良率、降低成本。东方晶源为此在软硬件联动、定制化GPU+CPU的超算平台以及基于对光刻等核心工艺步骤的深刻理解和精准仿真等方面准备了十二年，未来还将继续深耕，不遗余力推动产业发展和进步。