消息面上，1）半导体设备国产化：刻蚀与薄膜设备加速替代。中微公司2026年第一季度营收29亿元，同比增长34%，高端刻蚀设备在先进逻辑和存储器件制造中新增付运量显著提升，LPCVD、ALD等多款新品设备进入市场。中微公司高强度研发投入加速平台化布局，刻蚀设备已有300多台反应器量产，薄膜设备十余款产品快速放量。华海清科2025年收入增长36.46%，CMP设备全面覆盖6-12英寸晶圆尺寸，占据国产CMP装备销售90%以上份额。2）碳化硅衬底技术突破：8英寸市场份额全球领先。天岳先进2025年全球导电型碳化硅衬底材料市场份额达27.6%，其中8英寸市场份额为51.3%，6英寸价格底部回暖，8英寸衬底开始放量。3）半导体检测与量测设备：国产验证进展顺利。中科飞测2025年营收20.53亿元，同比增长48.75%，检测设备和量测设备分别增长38.52%和72.71%，平台化布局产品线持续丰富，部分设备已通过国内头部客户验证。4）半导体测试设备：SoC测试机放量在即。华峰测控25年收入13.46亿，同比增长48.72%，新产品8600主要应用于大规模SoC芯片测试，已累计投入3.17亿研发费用，今年有望取得批量订单。5）湿电子化学品：先进制程需求放量。兴福电子深耕湿电子化学品领域，随着晶圆制造工艺向先进制程迭代，湿电子化学品市场规模有望非线性扩张，公司产能规模居行业前列。6）化学清洗设备：客户采买意愿强烈。芯源微26Q1毛利率46.69%，同比提升12.4个百分点，化学清洗机已全面导入国内多家头部晶圆厂，并获得批量重复性订单。"

券商研究方面，国金证券指出半导体产业链在逆全球化背景下加速自主可控进程，国内设备、材料及零部件企业在下游验证导入提速，晶圆厂稼动率回升带动半导体材料公司业绩超预期，且二季度有望延续；银河证券则观察到科创半导体材料设备指数近期表现突出，周收益率与年内涨幅均领先同业，相关ETF产品流动性及交易活跃度居前，其中聚焦科创板材料与设备的标的因硬科技属性强、国产替代弹性高而受市场关注。

截止日期：05月12日09:54，指数科创半导体材料设备(950125.CSI)上涨1.85%；主要成分股普涨，芯源微上涨14.73%，华海清科上涨5.85%，沪硅产业上涨5.37%，中科飞测上涨2.86%，华峰测控上涨1.75%；科创半导体设备ETF鹏华(589020.SH)上涨1.80%。

数据显示，科创半导体材料设备(950125.CSI)前十大权重股依次为拓荆科技、华海清科、中微公司、中科飞测、沪硅产业、芯源微、华峰测控、安集科技、天岳先进、富创精密，前十大权重股合计占比71.90%。

科创半导体设备ETF鹏华紧密跟踪科创半导体材料设备指数,上证科创板半导体材料设备主题指数选取科创板内业务涉及半导体材料和半导体设备等领域的上市公司证券作为指数样本，以反映科创板半导体材料和设备上市公司证券的整体表现。

关联产品：

科创半导体设备ETF鹏华（589020）

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