江苏微导纳米申请测量半导体设备管路清洗效率相关专利，可对半导体设备管路的清洗效率进行侦测
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2025-06-02 13:04:08
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金融界2025年6月2日消息，国家知识产权局信息显示，江苏微导纳米科技股份有限公司申请一项名为“测量装置、半导体设备及测量管路清洗效率的方法”的专利，公开号CN120063188A，申请日期为2025年02月。

专利摘要显示，本申请提供了一种测量装置、半导体设备及测量管路清洗效率的方法，测量装置用于测量半导体设备中管路的清洗效率，测量装置包括支架、承载件和测试片，支架设置于两根管路的法兰之间；承载件设置于支架；测试片设置于承载件的外表面。本申请通过在半导体设备中设置测量装置，可以对半导体设备管路的清洗效率进行侦测，直观反映清洗效果，并且测量装置拆装简单，利于操作。

来源：金融界

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