鑫巨半导体申请用于半导体设备的主动式振动消除系统及方法专利，可避免激发玻璃IC载板产生共振
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2025-06-04 19:06:37
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金融界2025年6月4日消息，国家知识产权局信息显示，鑫巨（深圳）半导体科技有限公司申请一项名为“一种用于半导体设备的主动式振动消除系统及方法”的专利，公开号CN120089116A，申请日期为2025年04月。
专利摘要显示，本发明提供了一种用于半导体设备的主动式振动消除系统及方法，该主动式振动消除系统中设置有数据采集装置、控制装置和振动发生装置，振动发生装置可以产生适配频率、适配相位、适配振幅的振动波，基于机械波的干涉原理，利用主动式振动消除方法，产生反相振动波，以对原振动波进行破坏性干涉，以消除或部分消除测量到的外部振动波，如此，在半导体的生产过程中，各种生产设备产生的振动波会被振动发生装置产生的振动波抵消或部分抵消，因此，不会激发玻璃IC载板产生共振，造成玻璃IC载板的破碎，进而影响生产板或污染生产过程。
天眼查资料显示，鑫巨（深圳）半导体科技有限公司，成立于2020年，位于深圳市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本2945.793741万人民币。通过天眼查大数据分析，鑫巨（深圳）半导体科技有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目1次，财产线索方面有商标信息17条，专利信息25条，此外企业还拥有行政许可3个。
来源：金融界
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