国林科技：半导体专用臭氧发生器和臭氧水机核心器件可实现自研自制
创始人
2025-06-09 11:37:13
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金融界6月9日消息，有投资者在互动平台向国林科技提问：为推动臭氧设备国产化进程，针对美国MKS公司归于ALD、CVD、WET等工艺的臭氧发生器产品，请问公司是否设计、研发并生产相关产品，针对M公司，可直接替换M整机或维修M主要零部件？对美国MKS公司臭氧发生器产品的所有用户是否能够提供以下服务：检测美国MKS公司多个系列臭氧发生器产品，形成评估报告；维修待修设备中损坏的零部件，替换无法修复的已损坏零部件，无需更换。上述服务，公司竞争对手都可以提供。

公司回答表示：尊敬的投资者，您好。国林半导体基于集团多年来在臭氧机理研究的技术优势和技术沉淀，目前所研发的为半导体行业专用的臭氧发生器和臭氧水机核心器件均可实现自研自制，能够为半导体、光伏、面板等行业提供系统配套设备，并可以为终端用户提供臭氧系统设备的日常维护和整机维修业务。感谢您的关注。

来源：金融界

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