鹰港科技申请可变输出阻抗RF发生器专利，将脉冲幅度增加到大于2kV的电压
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2025-06-12 11:06:34
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金融界2025年6月12日消息，国家知识产权局信息显示，鹰港科技有限公司申请一项名为“可变输出阻抗RF发生器”的专利，公开号CN120127999A，申请日期为2019年11月。
专利摘要显示，公开了无需匹配网络的各种RF等离子体系统。在一些实施例中，所述RF等离子体系统包括：能量存储电容器；开关电路，其与所述能量存储电容器耦合，所述开关电路产生具有脉冲幅度和脉冲频率的多个脉冲，所述脉冲幅度大于100伏特；谐振电路，其与所述开关电路耦合。在一些实施例中，所述谐振电路包括：变压器，其具有初级侧和次级侧；和电容器、电感器和电阻器中的至少一个。在一些实施例中，所述谐振电路具有实质上等于所述脉冲频率的谐振频率，并且所述谐振电路将所述脉冲幅度增加到大于2kV的电压。
来源：金融界
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