维信诺申请基板传送装置及半导体制造设备专利，避免机械应力对基板表面的损伤
创始人
2025-06-14 17:38:40
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金融界2025年6月14日消息，国家知识产权局信息显示，合肥维信诺科技有限公司申请一项名为“基板传送装置及半导体制造设备”的专利，公开号CN120149239A，申请日期为2025年05月。
专利摘要显示，本申请提供一种基板传送装置及半导体制造设备，基板传送装置包括：中心固定轴；第一传送滚轮，包括第一固定件和第一滚动件，第一固定件固定于中心固定轴，第一滚动件套设于第一固定件的外围，且第一滚动件可绕中心固定轴转动；第一滚动件包括多个第一通孔；抽气通道，包括第一抽气管路，第一抽气管路位于第一固定件内，第一抽气管路包括朝向基板所在平面方向设置的第一进气管口，第一滚动件的其中一个第一通孔与第一进气管口连通。
天眼查资料显示，合肥维信诺科技有限公司，成立于2018年，位于合肥市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本2200000万人民币。通过天眼查大数据分析，合肥维信诺科技有限公司参与招投标项目935次，专利信息3557条，此外企业还拥有行政许可28个。
来源：金融界
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