浙江创芯取得半导体设备及其供气管路、供气系统专利，提高晶圆加工质量
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2025-06-28 12:38:04
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金融界2025年6月28日消息，国家知识产权局信息显示，浙江创芯集成电路有限公司取得一项名为“半导体设备及其供气管路、供气系统”的专利，授权公告号CN223036197U，申请日期为2024年09月。
专利摘要显示，本公开实施例提供一种半导体设备及其供气管路、供气系统，其中，供气管路，包括至少一个供气支路，所述供气支路包括：具有入气口和第一出气口的供气管道，其中，所述入气口与气源连通；设置于所述供气管道上，选通所述入气口和所述第一出气口之间的管道的第一开关器件；设置于所述供气管道上，位于所述第一开关器件和所述第一出气口之间第一调压器件；设置于所述供气管道上，位于所述第一调压器件和所述第一出气口之间，选通所述第一调压器件和所述第一出气口之间的管道的第二开关器件。
天眼查资料显示，浙江创芯集成电路有限公司，成立于2020年，位于杭州市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本182000万人民币。通过天眼查大数据分析，浙江创芯集成电路有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目250次，财产线索方面有商标信息14条，专利信息314条，此外企业还拥有行政许可6个。
来源：金融界
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