中镓半导体申请小脊宽激光器制作方法及小脊宽激光器专利，有效减少光刻的次数
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2025-07-13 00:10:20
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金融界2025年7月12日消息，国家知识产权局信息显示，东莞市中镓半导体科技有限公司申请一项名为“小脊宽激光器制作方法及小脊宽激光器”的专利，公开号CN120300605A，申请日期为2025年04月。
专利摘要显示，本发明提供了一种小脊宽激光器制作方法及小脊宽激光器，其中该方法包括：提供一激光外延片，激光外延片包括基底层、外延层和脊波导层；在脊波导层上沉积透明导电层；在透明导电层上涂覆光刻胶层；光刻胶层通过单次光刻形成掩模图层；对未被掩模图层覆盖的透明导电层和脊波导层进行选择性刻蚀，未被刻蚀的透明导电层和脊波导层形成平台层；在刻蚀后的激光外延片的上表面沉积钝化层；去除掩模图层表面的钝化层；清除掩模图层。
天眼查资料显示，东莞市中镓半导体科技有限公司，成立于2009年，位于东莞市，是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本13010万人民币。通过天眼查大数据分析，东莞市中镓半导体科技有限公司共对外投资了4家企业，参与招投标项目13次，财产线索方面有商标信息7条，专利信息211条，此外企业还拥有行政许可7个。
来源：金融界
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