博世申请用于传感器装置等的微机械构件专利，覆盖结构具有特定加强结构
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2025-05-22 20:37:18
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金融界2025年5月22日消息，国家知识产权局信息显示，罗伯特·博世有限公司申请一项名为“用于传感器装置、麦克风装置和/或微型扬声器装置的微机械构件”的专利，公开号CN120020082A，申请日期为2024年11月。
专利摘要显示，一种用于传感器装置、麦克风装置和/或微型扬声器装置的微机械构件，该微机械构件具有覆盖结构(12)，该覆盖结构具有覆盖结构(12)的朝向微机械构件的敏感面(10a)定向的内侧(12a)，该内侧至少部分地跨过微机械构件的敏感面(10a)，并且微机械构件具有至少一个由覆盖结构(12)结构化的空气和/或介质进入开口(14)，空气和/或介质进入开口分别从覆盖结构(12)的内侧(12a)延伸至覆盖结构(12)的从覆盖结构(12)的内侧(12a)离开地定向的外侧(12b)，覆盖结构(12)具有至少两个在覆盖结构(12)的内侧(12a)上突出的接片状的加强结构(24)，加强结构以在两个相邻的加强结构(24)之间的50nm和1500nm之间的范围内的间距彼此平行地定向。
来源：金融界
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