新凯来工业机器申请输送系统、前驱体盒及半导体设备专利，实施方式提供一种输送系统、前驱体盒及半导体设备_行业新闻

新凯来工业机器申请输送系统、前驱体盒及半导体设备专利，实施方式提供一种输送系统、前驱体盒及半导体设备

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2025-05-24 16:09:07

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金融界2025年5月24日消息，国家知识产权局信息显示，深圳市新凯来工业机器有限公司申请一项名为“输送系统、前驱体盒及半导体设备”的专利，公开号CN120026302A，申请日期为2025年01月。

专利摘要显示，本申请实施方式提供一种输送系统、前驱体盒及半导体设备。输送系统包括：汽化装置，用于汽化前驱体；前驱体管路，包括前驱体管、第一前驱两通阀、第二前驱两通阀、第一三通阀及第二三通阀，所述前驱体管与所述汽化装置连接，所述第一前驱两通阀、所述第一三通阀、所述第二三通阀及所述第二前驱两通阀依次设于所述前驱体管上，所述第一前驱两通阀位于所述汽化装置与所述第一三通阀之间，所述前驱体管用于输送前驱体；清洁管路，与所述第一三通阀连接，所述第一三通阀用于控制所述前驱体管路与所述清洁管路之间的流体的通断；旁流管路，与所述第二三通阀连接，所述第二三通阀用于控制所述前驱体管路与所述旁流管路之间的流体的通断。

天眼查资料显示，深圳市新凯来工业机器有限公司，成立于2022年，位于深圳市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本106584.4444万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳市新凯来工业机器有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目7次，财产线索方面有商标信息20条，专利信息92条，此外企业还拥有行政许可11个。

来源：金融界

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