风华高科申请薄膜片式电感制备方法专利,精度可达到±0.05%
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2026-01-22 21:08:56
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国家知识产权局信息显示,广东风华高新科技股份有限公司申请一项名为“一种薄膜片式电感及其制备方法与应用”的专利,公开号CN121366799A,申请日期为2025年9月。

专利摘要显示,本发明属于电子元器件技术领域,具体涉及一种薄膜片式电感及其制备方法与应用。所述薄膜片式电感的制备方法,包括以下步骤:采用第一靶材和第二靶材依次在基板上溅射沉积薄膜层,然后进行掩膜、电镀、蚀刻、印刷保护膜和封端处理,然后电镀镍层和锡层,得到所述薄膜片式电感;所述第一靶材为NiCr,所述第一靶材的溅射厚度为40‑70nm;所述第二靶材为Cu,所述第二靶材的溅射厚度为400‑700nm;所述溅射在混合气体中进行,所述混合气体包括氮气和氩气,所述氮气和氩气的流量比为(2‑3):(35‑45)。采用本发明的方法制备薄膜片式电感,精度可达到±0.05%,同时还具有高的Q值,特适用于对性能和尺寸有极端要求的领域。

天眼查资料显示,广东风华高新科技股份有限公司,成立于1994年,位于肇庆市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本115701.3211万人民币。通过天眼查大数据分析,广东风华高新科技股份有限公司共对外投资了38家企业,参与招投标项目1078次,财产线索方面有商标信息44条,专利信息945条,此外企业还拥有行政许可256个。

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来源:市场资讯

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