善银科技申请半导体加工精准定位气浮平台专利，保障设备整体运行稳定性
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2025-08-06 00:39:40
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金融界2025年8月5日消息，国家知识产权局信息显示，武汉市善银科技有限公司申请一项名为“一种半导体加工精准定位气浮平台”的专利，公开号CN120432419A，申请日期为2025年04月。
专利摘要显示，本发明涉及半导体技术的领域，公开了一种半导体加工精准定位气浮平台，包括：承载座，所述承载座上滑动安装有第一气浮平台，所述第一气浮平台上滑动安装有第二气浮平台，且第一气浮平台和第二气浮平台运行方向互相垂直，本发明通过设置上料区，当第一气浮平台和第二气浮平台移动使得加工台位于上料区时，此时拖链远离基座，利用上料的时间，让气体发生组件产生气体并输送至喷气组件，喷气组件喷出气流吹走基座表面杂质，避免杂质在拖链伸缩时加剧拖链和杂质磨损，且气流方向远离第一气浮平台，防止杂质进入第一气浮平台和第二气浮平台滑动轨迹，避免二者磨损加剧，保障设备整体运行稳定性，延长设备使用寿命。
天眼查资料显示，武汉市善银科技有限公司，成立于2014年，位于鄂州市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本100万人民币。通过天眼查大数据分析，武汉市善银科技有限公司参与招投标项目2次，财产线索方面有商标信息1条，专利信息15条。
来源：金融界
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