朗姆研究申请不断开高功率电路的电容测量专利，提供用于等离子体辅助的半导体处理的方法和装置
创始人
2025-08-16 20:16:19
0次
金融界2025年8月16日消息，国家知识产权局信息显示，朗姆研究公司申请一项名为“不断开高功率电路的电容测量”的专利，公开号CN120497150A，申请日期为2019年02月。
专利摘要显示，提供了一种用于等离子体辅助的半导体处理的方法和装置。该方法包括：a)在所述多个站中的每个站处提供衬底；b)将包括第一目标频率的RF功率分配给多个站，从而在所述站内产生等离子体，其中，根据配置为减小站与站之间的变化的RF功率参数来分配所述RF功率；c)调谐用于被包括在所述多个站中的第一站的阻抗匹配电路，同时通过以下方式将RF功率分配给所述第一站：i)在不将电容器与所述阻抗匹配电路断开的情况下，测量所述阻抗匹配电路中的所述电容器的电容；以及ii)根据(i)中所测得的所述电容和所述RF功率参数，调节所述电容器的电容；以及d)在每个站处在所述衬底上执行半导体处理操作。
来源：金融界
相关内容
热门资讯
半导体设备概念股早盘走低，相关...
半导体设备概念股早盘走低，中科飞测跌超6%，富创精密跌超5%，沪硅产业跌超3%，南大光电跌超2%。 ...
云汉芯城：公司业务领域不涉及半...
证券之星消息，云汉芯城(301563)10月14日在投资者关系平台上答复投资者关心的问题。 投资者提...
自主可控再突破！新凯来发布ED...
10月15日，A股三大指数走势分化，上证指数盘中上涨0.01%，日用化工、零售、工程机械等板块涨幅靠...
全国产自主可控！启云方首发两款...
深圳商报·读创客户端记者 刘娥/文、图 10月15日，启云方在2025湾区半导体产业生态博览会上首发...
河南格租电子科技有限公司成立 ...
天眼查App显示，近日，河南格租电子科技有限公司成立，法定代表人为邓雪平，注册资本100万人民币，经...
波长光电（301421）10月...
证券之星消息，截至2025年10月14日收盘，波长光电(301421)报收于120.95元，下跌8....
埃科光电（688610）10月...
证券之星消息，截至2025年10月14日收盘，埃科光电(688610)报收于68.32元，下跌8.2...
苹果预计本周发布多款新品，消费...
消息面上，苹果将在本周发布新款iPad Pro、Vision Pro与14英寸入门版MacBook ...
edi电阻率升不上去
主要原因与解决方案 进水水质问题。 反渗透出水不合格（电导率>3μS/cm、CO₂>10ppm、铁>...
兴森科技：IC封装基板2025...
证券之星消息，兴森科技(002436)10月14日在投资者关系平台上答复投资者关心的问题。 投资者提...