中微公司获得实用新型专利授权：“一种调平装置及半导体处理设备”
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2025-07-23 05:08:39
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证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种调平装置及半导体处理设备”，专利申请号为CN202422119467.X，授权日为2025年7月8日。
专利摘要：本实用新型公开一种调平装置及半导体处理设备，所述调平装置包括：差动调节件，固定于所述支撑板与所述加热器之间，通过分立的差动螺栓配合差动螺母对所述加热器的顶部的水平度进行调节；固定块，设置于所述支撑板上，与所述加热器抵接，用于向所述加热器提供推力；连接件，与所述固定块和所述加热器可调固定连接，用于向所述加热器提供拉力；且所述拉力和所述推力的方向相反，以在调节所述加热器的水平度时使所述加热器不发生偏移。本实用新型可以提高对加热器的水平度的调节精度，还可以在调节加热器的水平度时防止加热器发生偏移。
今年以来中微公司新获得专利授权84个，较去年同期减少了1.18%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了14.18亿元，同比增73.59%。
通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了29家企业，参与招投标项目66次；财产线索方面有商标信息98条，专利信息1522条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可76个。
数据来源：天眼查APP
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