上海衍梓智能取得半导体设备排气结构专利，可实现两种工作模式便捷转换以应用于不同工艺要求半导体处理
创始人
2025-07-25 13:12:12
0次
金融界2025年7月25日消息，国家知识产权局信息显示，上海衍梓智能科技有限公司取得一项名为“一种半导体设备排气结构”的专利，授权公告号CN223150641U，申请日期为2024年09月。
专利摘要显示，本实用新型公开了一种半导体设备排气结构。上述排气结构和反应腔配合设置，且排气结构包括排气通路I、排气通路II、PLC以及压力计。排气通路I包括尾气水洗装置、用于连通反应腔和尾气水洗装置的排气管I、装设在排气管I上的通断阀I和泄压阀。排气通路II包括干泵、尾气处理装置、用于连通反应腔、干泵和尾气处理装置的排气管II、装设在排气管II上的通断阀II和控压调节阀。当沉积厚膜时，排气通路I开启，排气通路II保持关闭。当沉积薄膜时，排气通路I保持关闭，排气通路II开启。本实用新型具备常压和减压两种工作模式，且两种工作模式可便捷转换来实现半导体晶圆的厚膜沉积/薄膜沉积生产，可灵活应用于不同工艺要求的半导体处理中。
天眼查资料显示，上海衍梓智能科技有限公司，成立于2020年，位于上海市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本292.6829万人民币。通过天眼查大数据分析，上海衍梓智能科技有限公司共对外投资了4家企业，财产线索方面有商标信息20条，专利信息41条，此外企业还拥有行政许可2个。
来源：金融界
相关内容
热门资讯
股市必读：柏楚电子（68818...
截至2025年10月22日收盘，柏楚电子(688188)报收于140.3元，下跌0.08%，换手率0...
埴固（上海）电子有限公司成立 ...
天眼查App显示，近日，埴固（上海）电子有限公司成立，法定代表人为张明曌，注册资本100万人民币，经...
股市必读：维峰电子（30132...
截至2025年10月22日收盘，维峰电子(301328)报收于44.49元，下跌0.85%，换手率2...
股市必读：澳弘电子（60505...
截至2025年10月22日收盘，澳弘电子(605058)报收于28.71元，上涨0.17%，换手率1...
利空突袭！芯片巨头，直线大跳水...
芯片巨头的财报，突然释放利空信号。 受业绩指引不及预期影响，美国芯片巨头德州仪器股价在周三美股盘前交...
德国、法国、意大利、波兰等19...
据央视新闻消息，在欧盟峰会召开前夕，德国、法国、意大利、波兰等19个欧洲国家的领导人共同致信欧洲理事...
股市必读：顺络电子（00213...
截至2025年10月22日收盘，顺络电子(002138)报收于35.86元，下跌0.66%，换手率2...
电白力量！欣捷安汽车电子(茂名...
10月21日，中共广东省委办公厅、广东省人民政府办公厅联合公布通报表扬名单，对推进粤港澳大湾区建设工...
德州仪器：半导体市场复苏放缓，...
【德州仪器总裁称半导体市场复苏速度放缓】德州仪器总裁兼Haviv Ilan表示，整体半导体市场虽仍处...
中国敦促荷兰尽快妥处安世半导体...
参考消息网10月22日报道据新加坡《联合早报》网站10月22日报道，中国商务部部长王文涛应约与荷兰经...