晶合集成申请图像传感器制造方法专利,形成顶部被填充介质层覆盖的气隙
创始人
2026-01-15 13:08:54
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国家知识产权局信息显示,合肥晶合集成电路股份有限公司申请一项名为“一种图像传感器的制造方法及图像传感器”的专利,公开号CN121335247A,申请日期为2025年12月。

专利摘要显示,本申请公开了一种图像传感器的制造方法及图像传感器,图像传感器的制造方法包括:形成深沟槽隔离结构;在半导体衬底的第一表面形成介质层,并且形成从介质层表面向其内部延伸的第一沟槽,第一沟槽和深沟槽隔离结构相对;至少在第一沟槽的侧壁形成基底半导体层,其中,基底半导体层暴露出第一沟槽的底部;以基底半导体层为掩模,形成从第一沟槽的底部继续向介质层内部延伸的第二沟槽;基底半导体层膨胀氧化,形成完全填充第一沟槽的填充介质层,第二沟槽形成顶部被填充介质层覆盖的气隙;以及形成空气格栅结构,其中空气格栅结构包括介质层,介质层内部的气隙、以及覆盖气隙顶部的填充介质层,所述介质层围绕所述气隙以及所述填充介质层。

天眼查资料显示,合肥晶合集成电路股份有限公司,成立于2015年,位于合肥市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本200613.5157万人民币。通过天眼查大数据分析,合肥晶合集成电路股份有限公司共对外投资了10家企业,参与招投标项目636次,财产线索方面有商标信息41条,专利信息1569条,此外企业还拥有行政许可22个。

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来源:市场资讯

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