中科慧仪申请光学模组及半导体晶圆缺陷检测设备专利,能够具有40mm大视场
创始人
2026-01-19 17:38:41
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国家知识产权局信息显示,北京中科慧仪科技有限公司申请一项名为“光学模组及具有其的半导体晶圆缺陷检测设备”的专利,公开号CN121348533A,申请日期为2025年10月。

专利摘要显示,本申请公开了一种光学模组及具有其的半导体晶圆缺陷检测设备,涉及晶圆检测技术领域。该光学模组包括沿物侧至像侧方向依次分布的第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜和第五透镜,第一透镜和第二透镜胶合,第三透镜和第四透镜胶合,第一透镜的物侧方向设有孔径光阑;第一透镜为具有正光焦度的双凸透镜,第二透镜为具有负光焦度的弯月透镜,第三透镜为具有正光焦度的双凸透镜,第四透镜为具有负光焦度的双凹透镜,第五透镜为具有负光焦度的弯月透镜。采用本申请光学模组,能够具有40mm大视场,便于后续观察检测,并且像质良好。

天眼查资料显示,北京中科慧仪科技有限公司,成立于2024年,位于北京市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本710.25万人民币。通过天眼查大数据分析,北京中科慧仪科技有限公司共对外投资了1家企业,专利信息10条,此外企业还拥有行政许可1个。

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来源:市场资讯

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