北方华创申请半导体工艺腔室及托盘组件专利，定位托盘卡托使其可与托盘组件连接或分离
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2025-07-20 01:08:35
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金融界2025年7月19日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“半导体工艺腔室及托盘组件”的专利，公开号 CN120341167A，申请日期为 2024年07月。
专利摘要显示，本申请公开了一种半导体工艺腔室及托盘组件，属于半导体加工技术领域。半导体工艺腔室包括腔室本体和旋转组件，旋转组件与腔室本体可转动地连接，旋转组件包括托盘卡托和定位件，定位件与托盘卡托相连，定位件可转动至预设角度并保持在预设角度，以定位托盘卡托，使托盘卡托可与用于承载衬底的托盘组件连接或分离。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1094次，财产线索方面有商标信息67条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。
来源：金融界
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