澳柯玛云联申请MOS器件栅极侧墙及制备方法专利，提高MOS器件性能
创始人
2025-12-30 01:36:24
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国家知识产权局信息显示，青岛澳柯玛云联信息技术有限公司申请一项名为“MOS器件栅极侧墙及MOS器件的制备方法”的专利，公开号CN121215517A，申请日期为2024年6月。
专利摘要显示，本发明提供一种MOS器件栅极侧墙及MOS器件的制备方法，在形成栅极侧墙时，先通过在内侧墙结构外侧形成可升华挥发的固体牺牲材料层，接着在固体牺牲材料层的外侧壁形成起支撑作用的垫层，最后采用升华挥发过程使固体牺牲层升华挥发，从而形成空气侧墙结构。由于空气侧墙结构是通过升华挥发过程形成的，在去除固体牺牲层时并没有使用等离子体轰击，有效降低对空气侧墙下方结构表面(尤其是沟道区)产生损伤，提高MOS器件性能。
天眼查资料显示，青岛澳柯玛云联信息技术有限公司，成立于2020年，位于青岛市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本50000万人民币。通过天眼查大数据分析，青岛澳柯玛云联信息技术有限公司共对外投资了5家企业，专利信息93条，此外企业还拥有行政许可4个。
声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。
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