中微半导体申请化学气相沉积设备等相关专利，加热灯组件调节能力较强
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2025-07-02 00:37:14
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金融界2025年7月1日消息，国家知识产权局信息显示，中微半导体设备（上海）股份有限公司申请一项名为“化学气相沉积设备、加热灯组件及加热灯安装组件”的专利，公开号CN120231029A，申请日期为2023年12月。
专利摘要显示，一种化学气相沉积设备、加热灯组件及加热灯安装组件，其中，所述加热灯组件包括：安装件，其包括若干个安装孔；若干个加热灯模块，所述加热灯模块包括：反射罩和置于所述反射罩内的加热灯，所述反射罩底部具有一开口，所述加热灯模块设于所述安装孔内，所述加热灯通过所述开口进行照射。所述加热灯组件的调节能力较强。
天眼查资料显示，中微半导体设备（上海）股份有限公司，成立于2004年，位于上海市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本62236.3735万人民币。通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了29家企业，参与招投标项目66次，财产线索方面有商标信息76条，专利信息1486条，此外企业还拥有行政许可72个。
来源：金融界
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