无锡尚积半导体申请非制冷红外探测器功能层及其制备方法专利,具有较高的TCR性能
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2026-01-22 02:07:53
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国家知识产权局信息显示,无锡尚积半导体科技股份有限公司申请一项名为“一种非制冷红外探测器功能层及其制备方法”的专利,公开号CN121344531A,申请日期为2025年12月。

专利摘要显示,本发明属于功能材料制备技术领域,具体涉及一种非制冷红外探测器功能层及其制备方法。本发明的功能层从下至上依次包括第一介质层、第二介质层、热敏电阻层、第一保护层和第二保护层;第一、第二介质层、第一和第二保护层均为氮化硅,热敏电阻层为氧化钒;第一介质层采用等离子增强化学气相沉积法形成,厚度为0~1000Å;第二介质层采用物理气相沉积法形成,厚度为400~1400Å;热敏电阻层采用物理气相沉积法形成,厚度为600~1000Å;第一保护层采用物理气相沉积法形成,厚度为400~1400Å;第二保护层采用等离子增强化学气相沉积法形成,厚度为0~1000Å。本发明的非制冷红外探测器功能层具有较高的TCR性能。

天眼查资料显示,无锡尚积半导体科技股份有限公司,成立于2021年,位于无锡市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本2166.4515万人民币。通过天眼查大数据分析,无锡尚积半导体科技股份有限公司共对外投资了6家企业,参与招投标项目21次,财产线索方面有商标信息9条,专利信息178条,此外企业还拥有行政许可16个。

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来源:市场资讯

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