昆山荣源鑫业机械科技申请用于半导体零部件加工的表面处理装置专利，有效防止误操作导致的液体空喷_资源案例

昆山荣源鑫业机械科技申请用于半导体零部件加工的表面处理装置专利，有效防止误操作导致的液体空喷

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2026-01-22 01:09:38

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国家知识产权局信息显示，昆山荣源鑫业机械科技有限公司申请一项名为“一种用于半导体零部件加工的表面处理装置”的专利，公开号CN121358218A，申请日期为2025年9月。

专利摘要显示，本发明涉及半导体加工制造技术领域，尤其是一种用于半导体零部件加工的表面处理装置，通过将叶轮与转辊同轴固定置于引流涡壳内，使得输送至喷淋组件的清洗液在流动过程中自然冲击叶轮，将流体动能转化为旋转机械能，将“供给清洗液”与“驱动旋转”两个原本需要独立部分完成的功能合二为一。当承装篮放置于放置板上时，其重力迫使放置板下移，此动作一方面使转辊凸起并抬升晶圆，另一方面通过连接件同步开启进液管路阀门，实现了“即放即开”的自动触发，特别是结合外部水泵受控启停构成的双重控制逻辑，形成了一道物理互锁屏障，确保了只有在晶圆确已就位时清洗液才会供给，有效防止了误操作导致的液体空喷、资源浪费和安全风险。

天眼查资料显示，昆山荣源鑫业机械科技有限公司，成立于2015年，位于苏州市，是一家以从事通用设备制造业为主的企业。企业注册资本500万人民币。通过天眼查大数据分析，昆山荣源鑫业机械科技有限公司财产线索方面有商标信息2条，专利信息16条，此外企业还拥有行政许可2个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

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