就在全球芯片行业为突破纳米级工艺争得焦头烂额时,中国科学技术大学悄无声息地抛出一项颠覆性技术——让芯片像植物发芽一样“自己生长”。这项名为“自刻蚀”的成果,由张树辰团队攻克,论文已登上国际顶刊《自然》,连国外专家都连称“想不到”。
打破“雕刻式”制造的思维枷锁

传统芯片制造好比用刻刀在硅片上雕电路,离不开光刻机这把“神器”。一台极紫外光刻机价格超过2.8亿美元,技术还被国外牢牢攥在手里。更棘手的是,芯片尺寸小到2纳米以下,光刻机已逼近物理极限,摩尔定律眼看就要失灵。
中科大团队却另辟蹊径:既然“雕刻”这么难,不如让芯片自己“长”。他们发现,一种名为“二维离子型软晶格”的特殊材料,在特定溶液中会自发产生内应力。通过调控温度、浓度等参数,这种应力能引导材料自动“刻”出纳米级方孔,再填充半导体物质,形成原子级平整的电路结构。整个过程无需光刻、蚀刻,步骤简化超六成,能耗降低七成以上。
从“对抗”到“顺应”的技术哲学

这项技术的核心智慧,在于颠覆了传统制造逻辑。过去,芯片工艺追求“以刚克柔”,用高能激光和强酸强碱对付材料,如同用铁锤雕刻豆腐,极易损伤材料性能。而自刻蚀技术转而“以柔克刚”,像引导水流般利用材料自身特性,实现零损伤加工。
例如,团队用温和的配体-溶剂溶液构建微环境,让晶体沿预设路径自主分解、重组,形成精准的“马赛克”式电路图案。这种思路不仅保留材料的光电优势,还大幅提升界面质量,电子迁移率比传统工艺高出十倍。
产业化前景与挑战

尽管实验室成果惊艳,但大规模应用仍面临考验。目前技术仅在2英寸晶圆上验证成功,要扩展到12英寸量产线,需攻克材料稳定性、良率一致性等难题。此外,现有芯片设计软件、封装工艺均围绕光刻技术构建,换赛道需重构产业链。
但潜力已清晰可见:一旦突破,芯片成本有望降至传统工艺的十分之一,且能轻松突破1纳米制程。未来手机待机时间或翻倍,AR眼镜、新能源车芯片性能也将跃升。
中国芯的“换道超车”意义

自刻蚀技术最深远的影响,是为中国半导体产业开辟了绕过光刻机封锁的新路径。过去,我们在别人设定的赛道上苦苦追赶;如今,通过底层材料创新,我们有望从“规则遵守者”变为“规则制定者”。
这项突破也印证了基础科研的价值。张树辰团队十年磨一剑,从材料应力这一微小切口入手,最终撬动行业巨变。正如《自然》审稿人所言:“这项工作为低维半导体加工树立了新里程碑。”

中科大的“芯片自生长”技术,虽未彻底淘汰光刻机,却为后摩尔时代指明了一条更轻盈、更智能的道路。从实验室到生产线,或许还需五年甚至更久,但这条新赛道上的中国芯,已让世界看到另一种可能。