睿智源半导体取得半导体晶圆制程槽转动机构专利，降低处理液或半导体晶圆被污染情况发生
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2025-08-21 11:09:29
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金融界2025年8月21日消息，国家知识产权局信息显示，睿智源半导体科技（苏州）有限公司取得一项名为“半导体晶圆制程槽的转动机构”的专利，授权公告号CN223245570U，申请日期为2024年10月。
专利摘要显示，本实用新型属于晶圆制造技术领域，公开了一种半导体晶圆制程槽的转动机构，包括支架、驱动机构以及传动机构，支架设于制程槽的外部且一侧与制程槽的外侧相连接，驱动机构架设于支架，传动机构包括传动架、主动轮和从动轮，传动架设于制程槽的内部，主动轮和从动轮上下布设且相互啮合，主动轮位于从动轮的上方，驱动机构的输出端与主动轮相连，从动轮连接有顶升机构，顶升机构用于间歇顶起位于清洗花篮中的半导体晶圆。半导体晶圆制程槽的转动机构通过在制程槽的外部架设支架，将驱动机构放置在支架上进行支撑，从而使驱动机构远离制程槽设置，确保运行过程中摩擦产生的细小颗粒不会掉落至制程槽内，降低了处理液或半导体晶圆被污染的情况发生。
天眼查资料显示，睿智源半导体科技（苏州）有限公司，成立于2019年，位于苏州市，是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本800万人民币。通过天眼查大数据分析，睿智源半导体科技（苏州）有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目5次，财产线索方面有商标信息7条，专利信息37条，此外企业还拥有行政许可4个。
来源：金融界
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