矽力杰申请沟槽结构、沟槽电容以及沟槽电容的制造方法专利,倾斜的子侧壁提高了第二电极区的形成质量
创始人
2026-04-02 19:31:53
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国家知识产权局信息显示,矽力杰半导体技术(杭州)有限公司申请一项名为“沟槽结构、沟槽电容以及沟槽电容的制造方法”的专利,公开号CN121772233A,申请日期为2025年12月。

专利摘要显示,本申请实施例公开了沟槽结构、沟槽电容以及沟槽电容的制造方法。沟槽电容包括沟槽结构。沟槽结构包括半导体区域、沟槽、电介质和第一电极区。电介质覆盖沟槽的底壁和至少部分内侧壁。第一电极区填充于包括该电介质的沟槽中。内侧壁包括连续的至少两段子侧壁,最上段的子侧壁基本垂直于半导体区域的上表面,剩余段的子侧壁倾斜于最上段的子侧壁。半导体区域包括半导体衬底、第一阱区和第二电极区。第一阱区形成于半导体衬底,并具有第一导电类型。第二电极区形成于第一阱区,环绕沟槽的轮廓,并具有第一导电类型。倾斜的子侧壁提高了第二电极区的形成质量,进而提高了沟槽电容的性能。

天眼查资料显示,矽力杰半导体技术(杭州)有限公司,成立于2008年,位于杭州市,是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本6852万美元。通过天眼查大数据分析,矽力杰半导体技术(杭州)有限公司共对外投资了45家企业,参与招投标项目12次,财产线索方面有商标信息71条,专利信息864条,此外企业还拥有行政许可9个。

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来源:市场资讯

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