上海微崇半导体申请基于二次谐波扫描的晶圆检测专利，提高检测的准确性
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2025-08-06 00:39:43
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金融界2025年8月5日消息，国家知识产权局信息显示，上海微崇半导体设备有限公司申请一项名为“基于二次谐波扫描的晶圆检测方法及系统”的专利，公开号CN120432396A，申请日期为2025年04月。
专利摘要显示，本发明涉及一种基于二次谐波扫描的晶圆检测方法及系统，其中，利用二次谐波对各待测样品的晶格进行检测，有效在能够实现利用二次谐波信号对待测样品进行电学性能测试的设备中增加晶格检测功能，避免了生产中，需要不停地将待测样品在不同的检测设备中来回转移才能满足检测需求的问题，减少了生产过程中的繁琐度，该可减少无效生产流程，提高最终成品的良品率。同时，由于可利用同一套设备实时对待测样品的晶向或晶格对称性进行检测，故还可在利用检测设备实现电学特性的检测过程中，提供一些晶格参数，辅助进行电学特性参数的分析，以避免因检测时待测样品的晶向或其它晶格特性原因导致的对电学特性检测结果的误判，提高检测的准确性。
天眼查资料显示，上海微崇半导体设备有限公司，成立于2021年，位于上海市，是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本3000万人民币。通过天眼查大数据分析，上海微崇半导体设备有限公司共对外投资了1家企业，财产线索方面有商标信息10条，专利信息14条，此外企业还拥有行政许可1个。
来源：金融界
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