长鑫科技申请半导体结构制备方法专利,电容结构在多个方向间隔设置提升集成度
创始人
2025-12-31 16:36:41
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国家知识产权局信息显示,长鑫科技集团股份有限公司申请一项名为“一种半导体结构的制备方法及其半导体结构”的专利,公开号CN121240435A,申请日期为2024年6月。

专利摘要显示,一种半导体结构的制造方法,包括:提供基底,在基底内形成隔离结构,隔离结构间隔设置;在基底上形成堆叠结构,堆叠结构由第一层和第二层在第三方向上交替堆叠而成;形成叠层开口,叠层开口沿第三方向穿过叠层结构;形成第一基底开口,第一基底开口在叠层开口下方且延伸至基底内,叠层开口和第一基底开口构成第一开口,第一开口在基底的正投影位于隔离结构在基底的正投影内和/或第一开口在基底的正投影位于相邻隔离结构之间;去除部分第二层以形成第二开口,刻蚀第一基底开口以形成基底开口,叠层开口、基底开口和第二开口共同构成联合开口;在联合开口中形成电容结构,电容结构沿第一方向延伸且在第二方向和第三方向均间隔设置。

天眼查资料显示,长鑫科技集团股份有限公司,成立于2016年,位于合肥市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本6019279.7469万人民币。通过天眼查大数据分析,长鑫科技集团股份有限公司共对外投资了18家企业,参与招投标项目1085次,财产线索方面有商标信息236条,专利信息640条,此外企业还拥有行政许可34个。

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来源:市场资讯

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