欧亦姆半导体申请用于半导体制程检测方法及系统专利，提高定量分析的准确性和重复性_资源案例

欧亦姆半导体申请用于半导体制程检测方法及系统专利，提高定量分析的准确性和重复性

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2026-01-06 14:09:53

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国家知识产权局信息显示，欧亦姆半导体设备科技（靖江）有限公司申请一项名为“一种用于半导体制程检测方法及检测系统”的专利，公开号CN121253641A，申请日期为2025年8月。

专利摘要显示，本发明涉及半导体制程检测技术领域，公开了一种用于半导体制程检测方法及检测系统，包括对半导体晶圆进行预处理，使其表面无残留污染物，且采用化学清洗和干燥工艺，以保持晶体完整；选定多个与测量目标元素同种化学性质但具有明显自然丰度差异的同位素作为标准样品，并将已知浓度的同位素溶液均匀掺入多个标准样品中。本发明通过在样品中引入已知浓度的与目标元素同位素标记，然后利用SIMS同时检测天然同位素和掺入同位素的相对信号强度，从而实现内部校正，抵消因基质不同而引起的离子化效率差异，由于相同基质中的不同同位素化学行为基本一致，基质效应可以大幅度减小，从而提高定量分析的准确性和重复性。

天眼查资料显示，欧亦姆半导体设备科技（靖江）有限公司，成立于2021年，位于泰州市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析，欧亦姆半导体设备科技（靖江）有限公司专利信息7条，此外企业还拥有行政许可3个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

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