煋源科技申请基于MEMS工艺的超快速熔断保险丝器件及其制备方法专利，该结构使熔断体与衬底实现热隔离，极大减少了热耗散_资源案例

煋源科技申请基于MEMS工艺的超快速熔断保险丝器件及其制备方法专利，该结构使熔断体与衬底实现热隔离，极大减少了热耗散

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2026-01-07 17:07:57

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国家知识产权局信息显示，北京煋源科技有限公司申请一项名为“一种基于MEMS工艺的超快速熔断保险丝器件及其制备方法”的专利，公开号CN121269620A，申请日期为2025年9月。

专利摘要显示，本发明涉及微机电系统原件制造的技术领域，公开了一种基于MEMS工艺的超快速熔断保险丝器件及其制备方法；所述制备方法，具体包括以下步骤：S101：获取具有良好半导体特性与机械稳定性的单晶硅衬底作为器件的基础支撑结构，在单晶硅衬底底表面生长一层厚度为100‑1000nm二氧化硅绝缘层；S102：在所述二氧化硅绝缘层上旋涂一层厚度均匀的可溶性聚合物材料作为牺牲层，通过热板进行前烘以去除溶剂并固化。本发明通过创建MEMS牺牲层与溶解的工艺，成功构建了由二氧化硅桥粱支撑的悬空铝熔断体结构，该结构使熔断体与衬底实现热隔离，极大减少了热耗散，使得器件在过流时能够通过焦耳热效应实现微秒级超快速响应。

天眼查资料显示，北京煋源科技有限公司，成立于2022年，位于北京市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本100万人民币。通过天眼查大数据分析，北京煋源科技有限公司专利信息17条，此外企业还拥有行政许可2个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

方法投资器件隔离减少了工艺结构专利二氧化硅保险丝牺牲层衬底丝器件熔断体

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