国家知识产权局信息显示,中微半导体设备(上海)股份有限公司取得一项名为“加热装置、化学气相沉积设备及吹扫方法”的专利,授权公告号CN116334583B,申请日期为2021年12月。
天眼查资料显示,中微半导体设备(上海)股份有限公司,成立于2004年,位于上海市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本62614.5307万人民币。通过天眼查大数据分析,中微半导体设备(上海)股份有限公司共对外投资了30家企业,参与招投标项目75次,财产线索方面有商标信息76条,专利信息1623条,此外企业还拥有行政许可77个。
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来源:市场资讯