湖北星辰技术申请刻蚀机台的边缘保护环及刻蚀机台专利，降低释放过程中电荷中和不完全导致的破片风险
创始人
2026-01-09 19:37:08
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国家知识产权局信息显示，湖北星辰技术有限公司申请一项名为“刻蚀机台的边缘保护环及刻蚀机台”的专利，公开号CN121306893A，申请日期为2025年10月。专利摘要显示，本申请涉及半导体制造领域，公开了一种刻蚀机台的边缘保护环及刻蚀机台。其中边缘保护环包括环体与静电传感器，沿环体的径向的内侧具有遮边部，遮边部用于遮挡晶圆；遮边部设置有至少一个静电传感器，静电传感器用于检测晶圆上表面的电压。通过本申请，在边缘保护环上集成静电传感器，实时获取释放过程中晶圆表面电压，判断承载装置表面电荷是否被完全释放，降低释放过程中电荷中和不完全导致的破片风险，提升刻蚀机台对高翘曲度、高厚度晶圆的兼容能力。
天眼查资料显示，湖北星辰技术有限公司，成立于2021年，位于武汉市，是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本3680.3242万人民币。通过天眼查大数据分析，湖北星辰技术有限公司共对外投资了8家企业，参与招投标项目81次，财产线索方面有商标信息15条，专利信息120条，此外企业还拥有行政许可28个。
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来源：市场资讯
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