江苏首芯半导体申请具有清洁装置的PECVD设备专利，有效提升腔室清洁效果
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2026-01-12 10:12:22
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国家知识产权局信息显示，江苏首芯半导体科技有限公司申请一项名为“一种具有清洁装置的PECVD设备”的专利，公开号CN121295142A，申请日期为2025年10月。
专利摘要显示，本说明书实施例提供一种具有清洁装置的PECVD设备，其中主清洁通路连接远程等离子体源与设备腔室的顶部喷淋板入口，用于利用清洁气体对设备腔室的核心区域进行清洁；辅助清洁通路连接主清洁通路与设备腔室的侧壁入口，用于利用清洁气体对设备腔室的死角区域进行清洁；磁控旋转机构设置在辅助清洁通路上，用于控制辅助清洁通路的开或关。本设备采用双清洁通路协同工作，显著扩大清洁气体的覆盖范围，形成无死角的清洁轨迹，彻底消除腔室内的清洁盲区，有效提升腔室清洁效果。同时，利用磁控旋转机构来控制辅助清洁通路的开或管，摆脱了机械传动机构在真空环境下易磨损老化、易故障的弊端，有利于提高通路控制机构及清洁装置整体寿命。
天眼查资料显示，江苏首芯半导体科技有限公司，成立于2023年，位于无锡市，是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本1433.9071万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏首芯半导体科技有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目8次，财产线索方面有商标信息14条，专利信息33条，此外企业还拥有行政许可22个。
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来源：市场资讯
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