华矽半导体取得半导体设备用喷淋头专利,解决等离子体通过喷淋头喷出问题
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2025-08-16 17:40:32
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金融界2025年8月16日消息,国家知识产权局信息显示,安徽华矽半导体科技有限公司、宣城先进光伏技术有限公司取得一项名为“一种半导体设备用的喷淋头”的专利,授权公告号CN223226166U,申请日期为2024年08月。

专利摘要显示,本实用新型涉及半导体镀膜设备技术领域,具体涉及一种半导体设备用的喷淋头,为解决等离子体通过的喷淋头喷出的问题。该喷淋头包括等离子消除箱、设置在所述等离子消除箱下方的混合箱、设置在所述混合箱下方的出气箱、设置在所述等离子消除箱上的进气管、连通所述等离子消除箱和所述混合箱的第一导管和连通所述出气箱和所述出气箱的第二导管;所述等离子消除箱内设有等离子消除板,所述等离子消除板上设有若干气体通道;所述混合箱内设有搅拌装置;所述出气箱底部设有若干出气孔。

天眼查资料显示,安徽华矽半导体科技有限公司,成立于2021年,位于宣城市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本2000万人民币。通过天眼查大数据分析,安徽华矽半导体科技有限公司参与招投标项目4次,专利信息14条,此外企业还拥有行政许可1个。

宣城先进光伏技术有限公司,成立于2020年,位于宣城市,是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本31000万人民币。通过天眼查大数据分析,宣城先进光伏技术有限公司共对外投资了6家企业,参与招投标项目62次,专利信息88条,此外企业还拥有行政许可3个。

来源:金融界

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